CIF推出的新一代科研型等離子清洗設備，合理的結(jié)構(gòu)設計，優(yōu)化的腔體尺寸，使得處理樣品更大，適用范圍更廣。產(chǎn)品性能穩(wěn)定，操作簡單方便，易維護。??

產(chǎn)品特點

u?7寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面，自動控制監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)，20個配方程序，工藝數(shù)據(jù)可存儲追溯。

u?PLC控制整個清洗過程，手動、自動兩種工作模式。

u?采用美國德威爾（Dwyer）氣體浮子流量計或質(zhì)量流量計(CPC-FM)，可輸入氧氣、氬氣、氮氣、氫氣或混合氣等氣體，氣體控制精準。

u?氣體返填吹掃，HEPA高效過濾，防止二次污染。

u?316不銹鋼、石英真空艙可選擇，全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕無污染。

u?采用60度傾角操作面板設計，符合人體功能學，操作方便，界面友好。

u?上控制下艙體結(jié)構(gòu)設計，結(jié)構(gòu)緊湊，占地空間小。

u?內(nèi)凹式前面板設計，有效保護流量計和艙門不易損壞。

u?處理快速高效均勻，無污染，工藝重復性好。

u?樣品處理溫度低，無熱損傷和熱氧化。

u?安全保護，艙門打開，自動關閉電源。

技術參數(shù)

型號	CPC-E	CPC-Eplus	CPC-F		CPC-Fplus	CPC-FM		CPC-FMplus
射頻電源	40KHz	13.56MHz	40KHz		13.56MHz	40KHz		13.56MHz
射頻功率	10-300W	10-150W	10-600W		10-150W	10-600W		10-150W
匹配器	自動匹配器		自動匹配器			自動匹配器
激發(fā)方式	電容式或電感耦合（ICP）		電容式或電感耦合（ICP）			電容式或電感耦合（ICP）
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